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佳能发布 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，宣称实现高生产率和业界高水平套刻精度
发布于 · 本站收录 2026-11-11 17:02
11 月 10 日，佳能在日本东京宣布，将于 2026 年 12 月上旬发售面向存储和逻辑芯片的 KrF（IT之家注：氟化氪）扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”。 ▲ KrF 扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a” 官方表示，通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，这款 KrF …
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